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商品情報



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商品NO 1267 商品名 ICFバタフライバルブ メーカー (株)スプリード 管理 (株)スプリード
型式 ICF203BGV 価格 商品問合せ
特徴 •コンダクタンス調整バルブ
•ゲートバルブとしても使用可
•スパッタ装置の流量調整用に
•口径に対するコンダクタンス性能は真空バルブで最大です
カタログ
仕様 ボディ:SUS304
使用圧力範囲:1×10-5Pa
ディスクシール:フッ素ゴムOリング
軸シール:フッ素ゴムOリング
作動方式:手動
備考 管理NO